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  国家知识产权局信息数据显现，无锡松煜科技股份有限公司请求一项名为“一种调控氧化锡薄膜成长均匀性的办法”的专利，公开号CN121826640A，请求日期为2025年12月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种调整调控氧化锡薄膜成长均匀性的办法，包含将抛光后的硅片放置在承载硅片的载体舟中，载体舟下方设置匀流设备；待腔体到达线℃后，顺次通入锡源，通入大流量氩气进行一次吹扫，通入小流量氩气进行二次吹扫，通入氧源，通入大流量氩气进行三次吹扫，通入小流量氩气进行四次吹扫，重复50~200次。此计划经过伯努利原理—流体中流速小的当地压强壮、流速大的当地压强小，在抽气方位制造经过压强操控开度的活动挡板，对气流进行重新分配，进步气体均匀性。经过巨细流量叠加吹扫的方法，即确保了通源步时不发生气体压差影响气流活动，又增强了吹扫才能，改进膜厚均匀性。

  天眼查资料显现，无锡松煜科技股份有限公司，成立于2017年，坐落无锡市，是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册资本3221.2326万人民币。经过天眼查大数据分析，无锡松煜科技股份有限公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目19次，产业线条，此外企业还具有行政许可26个。

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