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　　国家知识产权局信息数据显现，江苏首芯半导体科技有限公司请求一项名为“薄膜堆积设备”的专利，公开号CN121046821A，请求日期为2025年8月。专利摘要显现，本请求触及半导体技术领域，供给一种薄膜堆积设备，至少有利于在晶圆上构成质量较高且厚度较厚的膜层。薄膜堆积设备包含：腔体，腔体包含彼此衔接的上腔体和下腔体；载台，载台设置于腔体内，载台的外表用于放置晶圆；阻隔部件，阻隔部件设置于腔体内，阻隔部件用于将上腔体和下腔体彼此阻隔；操控器，操控器与载台和阻隔部件衔接，操控器被装备为替换履行堆积过程和清洁过程；堆积过程包含：操控载台处于上腔体中，并在晶圆外表堆积薄膜；清洁过程包含：操控载台处于下腔体中，而且操控阻隔部件将上腔体和下腔体彼此阻隔，独自对上腔体进行清洁处理。

　　天眼查资料显现，江苏首芯半导体科技有限公司，成立于2023年，坐落无锡市，是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本1433.9071万人民币。经过天眼查大数据分析，江苏首芯半导体科技有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目7次，产业线条，此外企业还具有行政许可22个。

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